接着,他又转向晶体管技术,这比电子管要复杂得多,但现在他的脑海中已经有了清晰的理解:
晶体管制造设备清单:
半导体材料制备设备:区熔炉、单晶拉制装置
掺杂设备:扩散炉、离子注入机
光刻设备:紫外光源、精密对准装置
蚀刻设备:化学蚀刻槽、等离子体蚀刻机
金属化设备:真空蒸发镀膜机
封装设备:精密焊接机、树脂封装设备
测试设备:半导体参数测试仪、微型探针台
制造流程:
材料制备:提纯硅或锗,制成高纯单晶棒
切片:将单晶棒切成薄片(晶圆)
氧化:在晶圆表面生成氧化层
光刻:使用光敏剂和掩模版在晶圆上定义图形
掺杂:在特定区域掺入杂质(如磷、硼),形成PN结
金属化:沉积金属层,形成电极触点
分割:将晶圆切割成单个晶体管芯片
封装:将芯片固定在引脚架上,进行外部封装
测试:测试晶体管的各项电气参数
李明远写得飞快,生怕遗漏任何细节。