于是,当时还是助教的他,接下了这个艰巨的任务。
清华大学全力支持,精密仪器系大楼建成之后,大楼一层就装修成了精密光学仪器加工工厂,也就是9003实验基地,系主任沈钊兼任厂长,学校的工程技术队伍都归属他指挥,几百人的研发团队就这样成立了!
光刻机,制造复杂,难度很大,巴统将它列为高端产品,对东方实行技术封锁,在与世隔绝的情况下,徐教授带着团队,从氦氖激光器开始做起,精密导轨、丝杠、滚珠、步进电机、数字控制用的计算机、光学系统、大孔径的投影物镜等等……
经过努力,东方第一台自动光刻机就此诞生!
之后,徐教授再接再厉,继续研制更加先进的分步投影光刻机,简单来说,就是把芯片分成一块块的,每次只光刻一部分,随着加工精度的不断提升,这是必然。
1980年,这种光刻机研发成功,加工的最小线宽达到了0.8微米,可以说,这款光刻机的研发成功,解决了东方芯片工业最大的难题,用十来年不成问题!
要知道,八十年代末期的486处理器,用的也不过是1微米工艺!
但是……
已经升为副校长的沈钊,脸上表情复杂:“咱们亲自过去,找了魔都的无线电厂,他们原本说得好好的,要采购咱们的光刻机,(本章未完,请翻页)
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